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真空罩

真空测试冶具上层结构的一部分。与使用压紧装置或密封罩进行扩展相比，使用真空罩进行扩展更加安全可靠，因为整个压板均为真空区，被测器件由压头压向内装探针，实现触探。真空罩受力很大，会发生形变。