活塞

从外部就能看到,触探区域形状各异的活塞是探针的主要元件。它要施加尽可能大的压力,确保探针与被测器件之间的接触电阻小,以免产生虚假测量结果。活塞材料采用钢和铍铜,均经过硬化。极钝的针头形状也采用黄铜。